Опыт работы |
ПАО МИКРОН
Зеленоград, www.mikron.ru
Инженер по наладке и испытаниям 1 категории
Проведение профилактических и регламентных работ на оборудовании (200мм, тех. процесс 180нм, 90нм) - CMP (Chemical-mechanical planarization) Novellus system - Momentum, Amat Mirra Mesa, электролитического осаждения меди Sabre Novellus System. Химической лаборатории ECI technology quali-line QLC 7100.
Разработка нового технологического маршрута в рамках программы смены поставщика органических добавок для процессов электролитического осаждения меди на оборудовании Sabre Novellus System, химической лаборатории ECI technology quali-line QLC 7100. (Внесение изменений в настройки ПО оборудования, настройка автоматической лабораторной (QLC) системы для измерения концентраций органических добавок для процессов осаждения меди, настройка пост - процесса отмывки для обеспечения технологическим требованиям.)
Организация мероприятий по исправлению отклонений параметров технологических процессов; участие в экспериментах, направленных на улучшение технологического процесса химико-механической планаризации; (Корректировка ПО, калибровка систем дозирования и других аппаратных частей оборудования)
Метрологическое оборудование: (Nanospec) контроль физических, оптических, электрических и др. характеристик (Полупроводниковая промышленность).
По совмещению:
на участке ХИМИИ: обслуживание Скрубберов (очищение лицевой и обратной стороны пластин), ZETA (снятие фоторезистов, травление окислов, отмывка остатков кобальта), оборудования преддиффузионной чистки.
на участке фотолитографии: обслуживание оборудования нанесения фоторезиста.
(обучение и настройка роботов (brooks), системы управления асинхронными двигателями (Toshiba), системы управления шаговыми двигателями (Yaskawa), системы дозирования, интерфейсы обмена данными, системы управления пневматическими клапанами (SMC), и т.п.) |
Профессиональные навыки и знания |
Altium designer (начальный уровень), P-CAD, Autocad, Adobe Photoshop, Google Sketchup, КОМПАС, Autodesk Inventor Небольшие проекты начального уровня STM32f407, 469NI. (GPIO, SPI, таймеры, статическая, динамическая индикации. +GUI - Embedded Wizard) Эксплуатирование радиостанции Р-161А2М, Р159, Р111, Р173 в рамках обучения на военной кафедре. Есть особое желание обучаться и развиваться в области проектирования систем на микросхемах программируемой логики. |
